Heat and Heart
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環境・エネルギー
電子部品、フィルム、タッチパネルの製造
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新着情報
2017/10/10 SEMICON Japan 2017 に出展
会期: 12月 13日(水)〜 12月 15日(金)/10:00〜17:00
2017/10/09 CAEの紹介 熱流体
弊社の熱技術を支えるCAE(Computer Aided Engineering)に熱流体ページをアップしました。
2017/08/31 コンタクトアニール用RTPのご紹介
コンタクトアニールの処理が可能、GaN基板の処理も可能な装置をご紹介いたします。
2017/08/31 ゲート絶縁膜形成用縦型炉のご紹介
酸窒化処理が可能なSiCパワー半導体向け装置をご紹介いたします。
2017/08/31 活性化アニール炉のご紹介
超高温プロセス対応のSiCパワー半導体向け装置をご紹介いたします。
2017/07/17 レトロフィットメニューをリリース
工業加熱装置のレトロフィットメニューをリリースしました。
2017/07/07 1150℃シリーズ ボックス炉をリニューアル
1150℃シリーズのボックス炉をリニューアルいたしました。
2017/06/28 JASIS2017に出展
会期: 9月 6日(水)〜 9月 8日(金)/10:00〜17:00
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工業加熱装置

工業加熱装置
産業界の根幹を支える工業炉・雰囲気ガス発生装置・洗浄装置の紹介です。

半導体製造装置

半導体製造装置
酸化・拡散・CVD・アニール・ポストベーク・キュア用熱処理炉の紹介です。

先端技術製造装置

先端技術製造装置
次世代ディスプレイ・二次電池・高機能材料等の先端技術用熱処理炉の紹介です。

電子部品製造装置

電子部品製造装置
IT産業の成長を支える電子部品用生産炉の紹介です。

科学機器

科学機器
実験・開発用からパイロット生産用装置までの紹介です。

ヒートエレメント

ヒートエレメント
省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。


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