| 昭和33年(1958) | 7月 | 光洋精工株式会社（現(株)ジェイテクト）にリンドバーグ事業部設立 |
| 昭和34年(1959) | 7月 | リンドバーグ国産第１号機(バッチ型浸炭炉)完成 |
| 昭和36年(1961) | 4月 | 大阪市生野区中川町にリンドバーグ工場建設 |
| 昭和42年(1967) | 7月 | 光洋リンドバーグ株式会社設立 |
| 昭和45年(1970) | 8月 | テンプレスジャパン株式会社設立 |
| 昭和46年(1971) | 10月 | 天理市嘉幡町(現在地)に工場移転 |
| 昭和52年(1977) | 3月 | 工業炉工場増築 |
| 昭和54年(1979) | 5月 | モルダサーム国産化開始 |
| 昭和56年(1981) | 10月 | テンプレスジャパン株式会社を吸収合併 |
| 昭和59年(1984) | 1月 | 半導体製造装置専用工場建設 |
| 昭和59年(1984) | 9月 | 電子工業炉工場建設、関連製品工場整備 |
| 昭和60年(1985) | 6月 | モルダサームの製造設備の増強 |
| 昭和60年(1985) | 8月 | 半導体実験開発棟にクリーンルーム(クラス10)設置 |
| 昭和61年(1986) | 6月 | 奈良県磯城郡に結崎工場建設 |
| 平成 4年(1992) | 6月 | 半導体製造装置工場全面改修(クラス1000) |
| 平成 5年(1993) | 8月 | 半導体実験開発棟クリーンルーム(クラス10)拡充 |
| 平成 5年(1993) | 9月 | 本館建設、結崎工場を本社工場に集約 |
| 平成 8年(1996) | 4月 | 韓国に光洋リンドバーグ・セミコン・コーリア（現KTSK）設立 |
| 平成 9年(1997) | 11月 | 韓国に光洋リンドバーグ韓国駐在事務所開設 |
| 平成 9年(1997) | 12月 | 台湾に光洋リンドバーグ・アジア（現KTSA）設立 |
| 平成10年(1998) | 6月 | タイに光洋リンドバーグタイ駐在事務所開設 |
| 平成10年(1998) | 7月 | ISO 9001 認証取得 |
| 平成11年(1999) | 4月 | アメリカGS（General Signal Corpo.）グループとの合弁解消 |
| 平成11年(1999) | 10月 | 社名変更"光洋サーモシステム株式会社"としてスタート |
| 平成12年(2000) | 10月 | タイに光洋サーモシステム・タイランド（KTST）設立 |
| 平成13年(2001) | 6月 | ISO-14001 認証取得 |
| 平成13年(2001) | 10月 | モルダサーム工場新設 |
| 平成14年(2002) | 4月 | 韓国KTSKに新工場建設 |
| 平成15年(2003) | 4月 | 台湾台南市にKTSAサービス拠点開設 |
| 平成15年(2003) | 5月 | 中国に光洋熱処理設備貿易(上海)有限公司（KTSS）設立 |
| 平成16年(2004) | 8月 | 台湾台中市にKTSAサービス拠点開設 |
| 平成17年(2005) | 3月 | 韓国KTSKに第2工場建設 |
| 平成18年(2006) | 1月 | JTEKTグループ発足 |
| 平成18年(2006) | 5月 | 韓国KTSKに第3工場建設 |
