研究開発

CAE
Computer Aided Engineering

熱流体解析; Computational Fluid Dynamics

熱の移動や流体の流れなどをコンピューター内で再現し可視化するのが熱流体解析です。
実験が難しい高温状態など危険な条件下においても、流速分布や処理品の温度分布、導入ガスの濃度分布などを定量的に評価することができます。

但し、すべての解析領域に共通して言えることですが、解析も誤差を含みます。
よって当社でも、実験結果と比較しながら条件等解析の妥当性を検証し、解析精度向上に努めています。

熱流体解析事例

F-1. 工業加熱装置 KCF浸炭焼入炉 加熱室内の流速分布と温度分布
工業加熱装置
F-2. 先端技術製造装置 枚葉式クリーンオーブン CCBS 処理品の温度分布
先端技術製造装置
F-3. 半導体製造装置 量産〜実験用横型炉 ガス排気ボックスの表面温度
半導体製造装置