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デモ装置のご紹介
Introduction of Demo Machines

デモンストレーションのお問い合わせ当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。
事前テストや性能評価を行える体制を整えております。

※設備導入の検討以外での実験、および賃加工は、お受けしておりません。
 予めご了承ください。

下記デモ機のリンク先は標準製品のページとなっております。
リンク先の標準製品仕様はデモ機と異なる場合があります。
詳細についてはお問い合わせください。

主なデモ機紹介

分類 装置写真 テスト可能なデモンストレーション内容
工業加熱 KCF ノンフレームKCF浸炭炉 / KNFガス軟窒化炉
歯車(ギア)、ベアリングなど金属部品への浸炭、焼入、窒化テストが行えます。油槽エレベーターを上下に揺動するRFQ®相対流焼入を使用した場合の効果確認も行えます。
真空熱処理炉 真空熱処理炉
真空環境下での焼入、ロー付け、焼鈍の処理が可能。
半導体 VF-5900 300mmウェーハ対応・ラージパッチ縦型炉 VF-5900
12インチ、300mmウェハーの酸化、拡散、LPCVD、ポリイミドキュア、アニールが行える縦型炉です。ストッカー機構を備えた量産型のシステムです。
VF-1000 R&D、少量生産用ミニパッチ縦型炉 VF-1000
量産型プロセス装置と同じ高品位なプロセスの実現が可能なR&D、少量生産向けミニバッチ縦型炉です。酸化、拡散、LPCVD、ポリイミドキュア、アニール処理が行えます。
電子・先端 CCBS-IRシリーズ 枚葉式IRオーブン CCBS-IRシリーズ
IR加熱タイプの枚葉式クリーンオーブン、CCBS-IRシリーズ。
世代ディスプレイ用TFTであるIGZOをはじめ、液晶(LCD)、有機EL(OLED)の各種焼成処理に。
RH ローラハース式連続炉 RH series
大型ガラス基板、FED、有機EL(OLED)の焼成、フリットガラスの封着が実験可能です。特殊セラミックローラーの採用で確実・クリーンな搬送が行えます。
電子部品 標準マッフル炉 標準マッフル炉
マッフル採用で炉内雰囲気の安定性・再現性に優れたメッシュベルト式連続炉。ロー付けやハンダ付け、厚膜焼成、電極乾燥、脱バインダー処理に最適。
セラミックコンベア式連続炉 セラミックコンベア式連続炉
耐熱性・耐摩耗性に優れた特殊セラミックチェーンを搬送コンベアとして採用。マッフルレス、セラミックセミマッフル、金属マッフルなどのタイプが選択可能。
科学機器 INHシリーズ イナートガスオーブン INHシリーズ
最高使用温度600℃の高温で、窒素(N2)雰囲気による低酸素(O2)濃度20ppmを達成。 セラミック部品の脱脂、各種無酸化処理で多くの実績を持つ生産向けタイプ。
μBF 小型真空パージ式ボックス炉 μBF
多くの納入実績を持つKBFシリーズをベースに、真空パージ構造で置換時間の短縮を実現。N2雰囲気、水素(還元)雰囲気での熱処理が可能な多目的箱型電気炉(ボックス炉)。