デモ装置のご紹介
Introduction of Demo Machines
当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。
事前テストや性能評価を行える体制を整えております。
※設備導入検討以外でもお気軽にご相談ください。
尚、受託加工はお受けしておりませんので、予めご了承ください。
下記デモ機のリンク先は標準製品のページとなっております。
リンク先の標準製品仕様はデモ機と異なる場合があります。
詳細についてはお問い合わせください。
主なデモ機紹介
| 分類 | 装置写真 | テスト可能なデモンストレーション内容 |
|---|---|---|
| 工業加熱 |  |
ノンフレームKCF浸炭炉 / KNFガス軟窒化炉 歯車（ギア）、ベアリングなど金属部品への浸炭、焼入、窒化テストが行えます。油槽エレベーターを上下に揺動するRFQ®相対流焼入を使用した場合の効果確認も行えます。 |
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真空熱処理炉 真空環境下での焼入、ロー付け、焼鈍の処理が可能。 |
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| 半導体 |  |
300mmウェーハ対応・ラージパッチ縦型炉 VF-5900 12インチ、300mmウェハーの酸化、拡散、LPCVD、ポリイミドキュア、アニールが行える縦型炉です。ストッカー機構を備えた量産型のシステムです。 |
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R&D、少量生産用ミニパッチ縦型炉 VF-1000 量産型プロセス装置と同じ高品位なプロセスの実現が可能なR&D、少量生産向けミニバッチ縦型炉です。酸化、拡散、LPCVD、ポリイミドキュア、アニール処理が行えます。 |
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| 電子・先端 |  |
枚葉式IRオーブン CCBS-IRシリーズ IR加熱タイプの枚葉式クリーンオーブン、CCBS-IRシリーズ。 世代ディスプレイ用TFTであるIGZOをはじめ、液晶（LCD）、有機EL（OLED）の各種焼成処理に。 |
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ローラハース式連続炉 RH series 大型ガラス基板、FED、有機EL（OLED）の焼成、フリットガラスの封着が実験可能です。特殊セラミックローラーの採用で確実・クリーンな搬送が行えます。 |
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| 電子部品 |  |
標準マッフル炉 マッフル採用で炉内雰囲気の安定性・再現性に優れたメッシュベルト式連続炉。ロー付けやハンダ付け、厚膜焼成、電極乾燥、脱バインダー処理に最適。 |
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セラミックコンベア式連続炉 耐熱性・耐摩耗性に優れた特殊セラミックチェーンを搬送コンベアとして採用。マッフルレス、セラミックセミマッフル、金属マッフルなどのタイプが選択可能。 |
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| 科学機器 |  |
イナートガスオーブン INHシリーズ 最高使用温度600℃の高温で、窒素（N2）雰囲気による低酸素(O2)濃度20ppmを達成。 セラミック部品の脱脂、各種無酸化処理で多くの実績を持つ生産向けタイプ。 |
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小型真空パージ式ボックス炉 μBF 多くの納入実績を持つKBFシリーズをベースに、真空パージ構造で置換時間の短縮を実現。N2雰囲気、水素（還元）雰囲気での熱処理が可能な多目的箱型電気炉（ボックス炉）。 |
