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2017/10/10
SEMICON Japan 2017 に出展
会期： 12月 13日（水）～ 12月 15日（金）／10：00～17：00、会場：東京ビッグサイト（東京）
小間：3521／東3ホール（㈱ジェイテクトと共同出展）
出展テーマ：最先端の熱技術で次世代のモノづくりに貢献
SiC・GaN・IGBTパワー半導体、MEMS、OLED用熱処理装置まで紹介いたします。
コンパクトな実験機として卓上型ランプ装置を実機展示。
皆様のお越しをお待ちしております。
下記、主催社ＵＲＬより事前入場登録ができます。
2017/08/31
コンタクトアニール用RTPのご紹介
コンタクトアニールの処理が可能、GaN基板の処理も可能な装置をご紹介いたします。
http://www.koyo-thermos.co.jp/products/handou/handou_rla3100v.html
詳細は、下記URLよりお問い合わせください。
2017/08/31
ゲート絶縁膜形成用縦型炉のご紹介
酸窒化処理が可能なSiCパワー半導体向け装置をご紹介いたします。
http://www.koyo-thermos.co.jp/products/handou/handou_vf3000hs.html
詳細は、下記URLよりお問い合わせください。
2017/08/31
活性化アニール炉のご紹介
超高温プロセス対応のSiCパワー半導体向け装置をご紹介いたします。
http://www.koyo-thermos.co.jp/products/handou/handou_vf3000h.html
詳細は、下記URLよりお問い合わせください。
