FPD加熱処理用クリーンオーブンのベストセラーモデル。高い生産性とハイクリーン＆省エネルギー。
ハイレベルなクリーン度と高い加熱効率を実現。
真空中での加熱処理が可能、第10世代に対応。
スペックとコストを両立したLTPS向けスタンダードモデル。
半導体拡散炉ベースの高スペック、各種ガス雰囲気処理が可能。
耐熱カセットによる一括搬送で高い生産性を実現。
大型ガラス基板の確実な搬送と省エネルギー化・クリーン化を達成。
