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量産〜実験用横型炉 Model 200 series
Mass-Production Model / Experimental Horizontal Furnace Model 200 series

小型実験・研究(R&D)から量産までニーズに合わせた装置設計が可能。
シリコンウェーハはもちろん、
太陽電池の生産用途にも使用できる横型炉。
量産〜実験用横型炉 Model 200 series

特長

  • 小型実験から量産まで、ご要求に合わせた仕様での装置提案
  • 1バッチ25〜150枚処理まで対応
  • スペースに合わせた1〜4段炉構成
  • Φ50〜200mm及びΦ300mmと幅広いウェーハサイズに対応
  • 低・中温域はLGOヒータ、高温域はHGCヒータ採用で優れた温度特性を発揮
  • 用途・スペース・予算のご要求に合わせた仕様での装置提案
  • 機能に合わせた制御システム

お客様のご要望に合わせた装置設計が可能で、Φ75〜Φ200mmウェーハ、125mm角、156mm角セルサイズに対応した実験・研究(R&D)から量産にまで対応した横型炉です。シリコンウェーハはもちろん、太陽電池生産用途にも使用でき、オキシ塩化リン(POCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)などを使用したリン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、アニールなどの処理が行えます。

ヒータ LGOヒータ、HGCヒータ
均熱長(mm) 250〜800
ウェーハサイズ(mm) 〜Φ300
温度制御 3ゾーン
搬送装置 ボートエレベータ、ボートローダ、カンチレバーローダ、ソフトローダ
用途 酸化・拡散(リン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、
ウェット酸化、ドライ酸化)、アニール処理
処理品 Φ75〜Φ200mmシリコンウェーハ、125mm角、
156mm角PVセル