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太陽光発電セル用横型炉 Model 206A
Horizontal Furnace for PV Production Model 206A

太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)セル製造に最適な横型炉。
100〜156角ウェーハに対応し、1バッチ200〜400枚の大量処理が可能。
太陽光発電セル用横型炉 Model 206A

特長

  • 国内トップシェアの豊富な実績
  • 100mm〜200mm角ウェーハに対応
  • 1バッチ200〜400枚(均熱長、ウェーハピッチによる)
  • LGOヒータ搭載により素早い昇降温と省エネが可能

125mm角、156mm角の太陽光発電セル、6インチ、8インチのウェーハサイズにも対応した太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)セル製造向け横型炉です。太陽電池(ソーラー)・太陽光発電(PV)生産用途に最適で、オキシ塩化リン(POCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)などを使用したリン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、アニールなどの結晶系処理が行えます。

本体寸法(mm) 850(W)×6700(L)×2500(H) (3段炉)
ヒータ LGOヒータ
均熱長(mm) 1000
温度制御 3〜5ゾーン
搬送装置 ボートローダー
用途 酸化・拡散(リン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、
ウェット酸化、ドライ酸化)、アニール処理
処理関連品 オキシ塩化リン(POCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)
処理品 3インチ、4インチ、6インチ、8インチシリコンウェーハ125mm角、
156mm角PVセル