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6インチ対応 卓上型ランプ装置(RTP) DTL-6
Lamp Annealing System for R&D DTL-6

6インチウェーハ対応、R&D用卓上型ランプ装置。
雰囲気での処理も可能。
6インチ対応卓上型ランプ(RTP)装置 DTL-6

特長

  • 6インチまでウェーハサイズに対応
  • 上下面クロスランプ構造の採用で面内温度均一性を向上
  • 加熱炉と制御盤の別体化でレイアウトが自由

従来のランプアニール装置では不可能であった400℃以下の温度でも制御可能な実験・開発用装置です。ハロゲンランプを熱源とする平面加熱方式の熱処理装置です。

本体寸法(mm) 682(W)×555(D)×340(H)
使用温度範囲 300〜1000℃
昇温レート 100℃/sec
ランプ配列 上下面クロス配列
制御ゾーン数 6
ウェーハサイズ 6インチ
オプション サセプタ
用途 アニール
処理品 6インチウェーハ、156mm角PVセル