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300mmウェーハ対応・ミニバッチ縦型炉 VF-5700
Vertical Furnace for 300mm Wafer VF-5700

Si-IGBT用の数+µ厚ウェーハも安心して搬送できる装置をラインアップ。
低温制御性に優れ、裏面電極アニール、ポリイミドキュア等に対応可能。
300mmウェーハ対応・ミニバッチ縦型炉 VF-5700

特長

  • ミニバッチ、25〜50枚一括処理でフレキシブルな処理能力を発揮
  • 高速昇温可能なハイパワーヒータ搭載でスループット向上
  • 枚葉による高速ウェーハ搬送
  • オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載

Φ150mm、Φ200mmで多数実績のあるSi-IGBT向け裏面電極アニール、ポリイミドキュアをΦ300mmにも対応可能としています。

本体寸法(mm) 1100(W)×2000(D)×2950(H)
ヒータ LGOヒータ
均熱長(mm) 500
ウェーハサイズ(mm) Φ300
一処理枚数 50枚
I/Oポート 2
ウェーハ搬送 枚葉
オプション N2ロードロック、強制冷却システム、5枚一括+枚葉(ウェーハ搬送)
均熱長750mm(最大処理枚数75枚)、ボート回転機構、ホスト通信
処理 酸化・拡散・LP-CVD処理、アニール他
処理品 Si