製品情報

VCSEL用縦型炉 VF-1000B
Vertical Furnace for VCSEL VF-1000B

抜群の低温域の温度制御性・温度再現性を実現できる装置。
活性層近傍のAlGaAs層をウェット酸化により酸化狭窄構造の形成が可能です。
VCSEL用縦型炉 VF-1000B

特長

  • R&Dにおいても高品位なプロセスを実現
  • ミニバッチ、最大25枚処理の選択が可能
  • 〜Φ150mmウェーハサイズに対応
  • LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮があり、再現性にも優れています。

VCSELの酸化工程に不可欠な装置として世界各国で高シェアを獲得している縦型炉です。
ミニバッチ、最大25枚の選択処理が可能で、〜Φ150mmウェーハサイズに対応した実験・研究(R&D)、少量生産用縦型炉です。

型式 VF-1000B
本体寸法(mm) 1500(W)×1000(D)×2130(H)
ヒータ LGOヒータ
均熱長(mm) 250
ウェーハサイズ(mm) 〜Φ150
一処理枚数 25枚
使用温度 〜450℃
オプション N2ロードロック、強制冷却システム、ボート回転機構
処理 酸化、各種アニール
処理品 GaAs
当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。
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