製品情報

VCSEL用縦型炉 VF-3000B
Vertical Furnace for VCSEL VF-3000B

抜群の低温域の温度制御性・温度再現性を実現できる装置。
活性層近傍のAlGaAs層をウェット酸化により酸化狭窄構造の形成が可能です。
VCSEL用縦型炉 VF-3000B

特長

  • ミニバッチ、25枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応
  • LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性があり、再現性にも優れています。
  • 枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
  • 使いやすさを追及した制御システムを採用

VCSELの酸化工程に不可欠な装置として世界各国で高シェアを獲得している縦型炉です。
水蒸気の高精度な制御も可能で、独自の雰囲気制御でアパチャーサイズのばらつきを低減できます。
ミニバッチ、25枚の選択処理が可能で、〜Φ150mmまで幅広いウェーハサイズに対応します。ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまでお使いいただける縦型炉です。

型式 VF-3000B
本体寸法(mm) 1200(W)×1450(D)×2610(H)
ヒータ LGOヒータ
均熱長(mm) 250
ウェーハサイズ
(mm)
〜Φ150
一処理枚数 25枚
使用温度 〜450℃
ウェーハ搬送 枚葉
オプション N2ロードロック、強制冷却システム、ウェーハサイズの兼用可能、ボート回転機構
処理 酸化、各種アニール
処理品 GaAs
当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。
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