- 小型実験から量産まで、
ご要求に合わせた仕様での装置提案 - 1バッチ25〜150枚処理まで対応
- スペースに合わせた1〜4段炉構成
- 2〜8インチ及び300mmと
幅広いウェーハサイズに対応 - 低・中温域はLGOヒータ、高温域はHGC
ヒータ採用で優れた温度特性を発揮 - 用途・スペース・予算のご要求に
合わせた仕様での装置提案 - 機能に合わせた制御システム
| ヒータ | LGOヒータ、HGCヒータ |
|---|---|
| LGOヒータ （使用温度範囲） |
H40×117/175 (400〜1150℃) |
| HGCヒータ （使用温度範囲） |
16×86 (400〜1200℃) |
| 均熱長 | 250〜800mm |
| ウェーハサイズ | 〜300mm |
| 温度制御 | 3ゾーン |
| 搬送装置 | ボートエレベータ、ボートローダ、カンチレバーローダ、ソフトローダ |
※上記仕様は一例です。他の横型炉の仕様一覧はPDFにてご覧下さい。
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