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太陽光発電セル用横型炉 Model 206A

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太陽光発電セル用横型炉 Model 206A
  • 国内トップシェアの豊富な実績
  • 100mm〜200mm角ウェーハに対応
  • 1バッチ200〜400枚
    (均熱長、ウェーハピッチによる)
  • LGOヒータ搭載により素早い昇降温と省エネが可能
 
本体寸法 W850×L6700×H2500mm (3段炉)
ヒータ LGOヒータ
均熱長 1000mm
温度制御 3〜5ゾーン
搬送装置 ボートローダー