- 機能限定により優れたコストパフォーマンス
- 上面クロスランプ構造とゾーンの細分化で
面内温度均一性を向上 - ウェーハ回転機構採用で面内温度均一性を向上
- 多軸クリーンロボットによる高精度の搬送と生産性向上
- オペレータフレンドリーな
高機能制御システム搭載
| 本体寸法 | W1500×D2300×H2080mm | |
|---|---|---|
| 使用温度範囲 | 400〜1250℃ | |
| 昇温レート | 最大250℃/sec | |
| ランプ配列 | 上面クロス配列 | |
| 制御ゾーン数 | 22 | |
| ウェーハサイズ | 300mm | |
| I/Oポート | 2 | |
| ウェーハ搬送 | 枚葉 / 多軸クリーンロボット | |
| コントローラ | Model RSC1000 | |
| オプション | HOST通信（GEM300） |
