製品情報

半導体製造装置
Semiconductor Equipment

パワー半導体、活性化アニール、ゲート酸窒化、
シリコン・化合物半導体、太陽電池、有機EL(OLED)、
ポリイミド、MEMS製造の先進的な熱処理装置を製造。
低温域から1850℃処理までの装置をラインアップ。

セラミックファイバー断熱材と発熱体を一体真空成形した独自のLGOヒータを採用し、従来型太線ヒータと比較(当社比)して省エネルギーを実現しながら、早い昇降温特性、優れた温度安定性で高精度・高スループットを実現した酸化・拡散・CVD装置をご提供しています。
また、SiCパワーデバイス向けの高温熱処理炉として、1850℃対応のカーボンヒータや、1400℃対応の二珪化モリブデン(MoSi2)ヒータもラインアップし、SiCウェーハの活性化アニールやゲート酸窒化に対応しております。

縦型拡散システム

横型拡散システム

ランプアニールシステム/クリーンオーブン

SiCパワー半導体製造装置