製品情報

半導体製造装置
Semiconductor Equipment

Si・化合物パワー半導体、MEMS、太陽電池、VCSEL、OLED等の先進的な熱処理装置を製造。
低温域から1850℃処理までの装置をラインアップ。

セラミックファイバー断熱材と発熱体を一体真空成形した独自のLGOヒータを採用し、従来型太線ヒータと比較(当社比)して省エネルギーを実現しながら、早い昇降温特性、優れた温度安定性で高精度・高スループットを実現した酸化・拡散・CVD装置をご提供しています。
また、SiCパワーデバイス向けの高温熱処理炉として、1850℃対応のカーボンヒータや、1400℃対応の二珪化モリブデン(MoSi2)ヒータもラインアップし、SiCウェーハの活性化アニールやゲート酸窒化に対応しております。

※製品やサービスの提供を通じて地球環境・社会的課題を解決した事例をご紹介いたします。
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※プロセス一覧の事例をご紹介いたします。
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用途

縦型熱処理システム

横型熱処理システム

ランプアニールシステム

クリーンオーブンシステム