- ラージバッチ、最大100枚一括処理可能
- 最大16個のFOUPストッカー
- LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮
- 枚葉＋5枚一括搬送ロボットによる
高速ウェーハ搬送 - オペレータフレンドリーな
高機能制御システム搭載
| 本体寸法 | W1250×D3200×H3400mm | |
|---|---|---|
| ヒータ | LGOヒータ（標準内径：ø500mm） | |
| 均熱長 | 1040mm | |
| ウェーハサイズ | 300mm | |
| 最大処理枚数 | 100枚 | |
| I/Oポート | 2 | |
| FOUPストック | 16（標準） | |
| ウェーハ搬送 | 枚葉＋5枚一括 | |
| コントローラ | Model VSC1000 | |
| オプション | 強制冷却システム、N2ロードロック、HOST通信(GEM300) |
