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大口径縦型炉 VFS-4000

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大口径縦型炉 VFS-4000
  • 減圧処理、常圧処理に対応可能
  • 各種ガスシステムに対応可能
  • 最大基板サイズ 730×920
  • 大型LGOヒータにより優れた温度特性を発揮
  • 半導体縦型炉をFPD向けに大型化
 
本体寸法 W2000×D2000×H4200mm （炉体のみ）
ヒータ LGOヒータ
使用温度範囲 RT〜700℃
基板サイズ 730×920（G4）
処理枚数 20〜25枚
温度均一性 ±3℃以下
チャンバー材質 高純度石英
コントローラ Model VSC1000
オプション 強制冷却システム、HOST通信(SECS/GEM)