製品情報

HGCヒータ
HGC (Heavy Gauge Coil) Heater

コストパフォーマンスに優れ長寿命。HGCヒータ
―半導体用太線コイルユニットヒータ―
HGCヒータ
最高使用温度1250℃まで使用可能なHGCヒータは、比較的高温処理を繰り返し行う半導体拡散炉用のユニットヒータとして最適です。太線コイルによる熱源は耐久性に優れ、長寿命を実現しています。

1. HGCヒータ

太線コイルと特許スペーサの組み合わせは、コイル変形を抑え高温耐久性に優れており、長寿命を実現します。
高温処理を繰り返し行う拡散炉用ヒータとして最適です。

特長

  • インターロッキングコイルスペーサを多数列配置してコイル状発熱体を保持
  • 断熱材に弾力性をもたせ発熱体の変形を防止
  • 断熱材表面をジルコニアコーティングし、パーティクルの発生を抑制
  • 優れた昇降温特性
  • 優れた高温安定性
主な用途 縦型酸化・拡散炉 横型酸化・拡散炉 ディスポーザー
2.HGCヒータの仕様
発熱体線径 7.3〜9.3mm
ヒータ内径 150〜400mm
均熱長 150〜1200mm
冷却方式 自然冷却又は水冷
使用温度範囲 縦型システム: 〜1250℃ (AZTEC)
横型システム: 〜1250℃ (AZTEC)
最高使用温度 AZTEC: 1250℃
HELIX-U: 1200℃
昇降温特性 昇温: >20℃/min (空炉)
降温: <5℃/min (空炉)
高温安定性 1200℃±0.5℃以下 (実炉)
※各数値はヒータごとに異なります。