製品情報

LGOヒータ
LGO (Light Gauge Over-bend) Heater

低温処理で高精度を発揮するLGOヒータ
―半導体拡散炉用細線ユニットヒータ―
LGOヒータ
モルダサームヒータLGOは特に半導体拡散炉での高精度低温処理を実現するために開発された、軽量・高速昇降温タイプのセラミックファイバー断熱材ユニットヒータです。ヒータの線径がモルダサームヒータよりも細いため、蓄熱量がさらに少なく、従って高速昇降温が可能です。ねらった温度で安定するまでの時間が早く、均熱性に優れ、低温域処理での精度が抜群です。

1. LGOヒータ

発熱体に細線を使用し、セラミックファイバー断熱材と発熱体を一体真空成型したヒータです。
蓄熱量が少ないので昇降温が早く、温度追随性に優れています。
均熱性にも優れ、低温〜中高温まで高精度な温度処理が可能です。

特長

  • セラミックファイバー断熱材と発熱体を一体真空成型
  • 早い昇降温特性
  • 優れた低温安定性
  • 幅広い使用温度域
  • 軽重量
主な用途 縦型酸化・拡散炉

2. SLGOヒータ

LGOヒータをさらに省エネにしたヒータです。

特長

  • LGOヒータとコンパチブル
主な用途 縦型・横型酸化拡散炉、太陽光発電セル用横型炉
1.LGOヒータと2.SLGOヒータ共通の仕様
発熱体線径 2.0〜3.2mm
ヒータ内径 150〜550mm
均熱長 150〜1200mm
冷却方式 自然冷却(水冷なし)
使用温度範囲 縦型システム:〜1150℃
横型システム:〜1100℃
昇降温特性 昇温:>30℃/min(空炉)
降温:<10℃/min(空炉)
低温安定性 200℃±1℃以下(実炉)
※各数値はヒータごとに異なります。