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ハイテンプクリーンオーブン CLHシリーズ
High-Temperature Clean Oven CLH Series

耐熱高性能フィルターと独自冷却器の採用でクリーン環境下での高温ベークが可能。
熱風循環方式でウェハー、ガラス基板のベーキング・エージング、
ポリイミドキュア、アニールを高精度処理。
ハイテンプクリーンオーブン CLHシリーズ

最高使用温度
450℃/500℃
530℃

特長

  • 耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器の搭載で高温ベークが可能
  • 温度安定時には槽内クラス100を維持可能
  • 熱風フローは、前面吹き出し型水平循環(V型)と、サイドフロータイプ(V型)があり、高い熱効率と良好な温度均一性を実現
  • 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等の高精度処理が要求される用途に最適
  • 不活性ガスを槽内に導入することでイナートガスオーブンとしての使用も可能
主な用途 半導体ウェーハ・ガラス基板のキュアベーキング / エージングなど
オプション 酸素濃度計 / シグナルタワー / コールドトラップ / 非常停止回路 / 漏水検知器

熱風フロー方向で、側面吹き出し方式のV型と前面吹き出し方式のV型の2種類を準備。
耐熱型の高性能フィルターと独自冷却器の搭載で最高530℃まで(V型は500℃まで)の高温処理が行えるクリーンオーブンです。熱風循環方式による良好な温度均一性とクラス100(温度安定時)の空気清浄度で半導体ウェハー、ガラス基板のベーキング、エージングなど高温・高精度な処理が要求される用途に最適です。窒素(N2)ガスを槽内に導入することで残存酸素濃度20ppm以下で使用することも可能です。

製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。
耐熱高性能フィルタと独自冷却器で高温ベークが可能
CLHシリーズ共通仕様
洗浄度 CLASS 100(温度安定時)
到達酸素濃度 20ppm以下
温度制御 プログラマ
指示精度 ±0.1%FS±1digit
記憶容量 19パターン(30セグメント/1パターン)
調節動作 オートチューニング付PID制御
棚板耐荷重(等分布荷重) 15kg/枚
槽内圧力計 0〜2kPa
クリーンメータ 0〜1kPa
熱電対 K
排気口径 1B・ボールバルブ止め
安全装置 漏電ブレーカー、過熱防止計、電動機過負荷保護機、
制御回路保護用サーキットプロテクタ、冷却水・流量低下検知器
付属品 棚板2枚(棚受付)
型式 CLH-21CD(V) CLH-21CDH(V) CLH-21CD(V)
方式 強制送風循環式(サイドフロー) 前面吹出し型強制循環式
最高使用温度(注1) 450℃ 530℃ 500℃
常用使用温度範囲(注1) RT+70〜450℃ RT+70〜530℃ RT+70〜500℃
温度分布精度(注2) ±5℃(at 450℃) ±8℃(at 530℃) ±5℃(at 500℃)
最高温度到達時間(注1) 80分以内(RT+70〜450℃) 90分以内(RT+70〜530℃) 80分以内(RT+70〜500℃)
降温時間(参考値) 90分以内(450〜100℃) 100分以内(530〜100℃) 90分以内(500〜100℃)
フィルタ 耐熱高性能フィルタ
20ppm到達時間 45分以内(N2・250L/min導入)
ヒータ出力 33.6kW(at 200V) 21kW(at 200V)
温度記録計 1ペン記録計(制御点記録・熱電対K)
外形寸法(mm) 1285(W)×2020(H)×1605(D) 1180(W)×2110(H)×1670(D)
槽内寸法(mm) 670(W)×700(H)×500(D) 700(W)×700(H)×500(D)
(注3)
装置重量 約1050kg 約1100kg
ブレーカー容量 AC 200V 150A 3相 50/60Hz AC 200V 100A 3相 50/60Hz
価格 6,300,000円 7,800,000円 7,300,000円
型式 CLH-35CD(V) CLH-35CDH(V)
方式 強制送風循環式(サイドフロー)
最高使用温度(注1) 450℃ 530℃
常用使用温度範囲(注1) RT+70〜450℃ RT+70〜530℃
温度分布精度(注2) ±5℃(at 450℃) ±8℃(at 530℃)
最高温度到達時間(注1) 70分以内(RT+70〜450℃) 120分以内(RT+70〜530℃)
降温時間(参考値) 100分以内(450〜100℃) 120分以内(530〜100℃)
フィルタ 耐熱高性能フィルタ
20ppm到達時間 50分以内(N2・250L/min導入)
ヒータ出力 48.3kW(at 200V)
温度記録計 1ペン記録計(制御点記録・熱電対K)
外形寸法(mm) 1285(W)×2080(H)×1775(D)
槽内寸法(mm) 670(W)×790(H)×670(D)
装置重量 約1250kg
ブレーカー容量 AC 200V 175A 3相 50/60Hz
(注1) ヒータの昇温可能温度・加熱室内制御点での値を示す。
(注2) 有効寸法は櫓内寸法の2/3です。
(注3) 櫓内幅は700mmですが、開口部は630mmとなります。
価格について
  • 有効期限: 掲載の価格は、現行のものです。
    価格はできる限り維持するよう努めますが、原材料や諸物価の値上がり、
    また、製品改良などにより、やむを得ず変更することがありますので、
    あらかじめご了承ください。
  • 価格の範囲: 本価格には梱包、運送、納入後の試運転などの費用は含んでおりません。別途申し受けいたします。
  • 消費税: 本価格には消費税を含んでおりません。
仕様について
  • 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。
製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。