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クリーンオーブン CLOシリーズ
Clean Oven CLO Series

内槽全周シール構造による高気密化でクラス100の空気清浄度を達成、
窒素(N2)雰囲気の処理も可能。
温度均一性に優れた熱風循環方式の採用でキュア、アニール処理の歩留まりを向上。
クリーンオーブン CLOシリーズ

最高使用温度
200℃〜300℃

特長

  • 内槽を全周シール加工した高気密性により良好な清浄度と雰囲気を保持
  • 耐熱性HEPAフィルタを採用、温度安定時の槽内はクラス100を維持可能
  • オプションのN2導入システムを装備することで、槽内の残存酸素濃度100ppm以下(参考値)を実現
  • 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等の高精度処理が要求される用途に最適
主な用途 半導体ウェーハ・ガラス基板のベーキング / エージングなど
オプション 酸素濃度計(置型) / シグナルタワー / ガス供給 / プログラマ / 温度記録計

内槽を全周シール加工した高気密化と耐熱HEPAフィルターの採用により空気清浄度クラス100(温度安定時)のクリーン度を達成しています。半導体ウェハー、ガラス基板のベーキング、エージングなど信頼性・歩留まりの向上を要求される精密部品の処理に適しています。オプションの窒素(N2)導入システムを装備することで残留酸素(O2)濃度100ppm以下の処理が行えます。

製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。
高気密製により良好な洗浄度を保持
CLOシリーズ共通仕様
方式 前面吹き出し型強制循環式
最高使用温度(注1) 200℃/350℃(Hタイプ)
常用使用温度範囲(注1) RT+60〜200℃/RT+60〜350℃(Hタイプ)
温度分布精度(注2) ±4℃(at 200℃)/±8℃(at 350℃)(Hタイプ)
最高温度到達時間(注1) 60分以内(RT+60〜200℃)/120分以内(RT+60〜350℃)(Hタイプ)
洗浄度 CLASS 100(温度安定時)
フィルタ 耐熱HEPAフィルタ/耐熱高性能フィルタ(Hタイプ)
到達酸素濃度 100ppm以下(N2導入オプション装備時)(参考値)
温度制御 温度調節計
指示精度 ±(設定値の0.5%+1digit)
調節動作 オートチューニング付PID制御
熱電対 K
安全装置 過熱防止計、冷却水・流量低下検知器(Hタイプのみ)
電動機過負荷保護器、制御回路保護用サーキットプロテクタ
付属品 棚板2枚(棚受付)
(注1)加熱室内制御点での値を示す。
(注2)有効寸法は槽内寸法の2/3です。
☆Hタイプはシールパッキン保護用に冷却水が必要です。
☆熱電対は消耗品です。
型式 CLO-2A(H) CLO-9C(H) CLO-21C(H)
ヒータ出力 1.2kW(at 100V) 3.0kW(at 200V) 4.8kW(at 200V)
棚板耐荷重
(等分布荷重)
5kg/枚 15kg/枚
クリーンメータ 0〜1kPa(オプション) 0〜1kPa
外形寸法(mm) 590(W)×460(H)×600(D) 1040(W)×690(H)×900(D) 860(W)×1470(H)×1010(D)
槽内寸法(mm) 250(W)×250(H)×250(D) 450(W)×450(H)×450(D) 660(W)×660(H)×500(D)
排気口径 1/4B・ボールバルブ止め 3/8B・ボールバルブ止め 1/2B・ボールバルブ止め
ブレーカー容量 AC 100V 20A
単相 50/60Hz
AC 200V 20A
3相 50/60Hz
安全装置 ノーヒューズブレーカー 漏電ブレーカー
価格(標準)  960,000円 1,240,000円 1,880,000円
価格(Hタイプ) 1,060,000円 1,380,000円 2,060,000円
価格について
  • 有効期限: 掲載の価格は、現行のものです。
    価格はできる限り維持するよう努めますが、原材料や諸物価の値上がり、
    また、製品改良などにより、やむを得ず変更することがありますので、
    あらかじめご了承ください。
  • 価格の範囲: 本価格には梱包、運送、納入後の試運転などの費用は含んでおりません。別途申し受けいたします。
  • 消費税: 本価格には消費税を含んでおりません。
仕様について
  • 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。
製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。