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イナートガスオーブン INHシリーズ
Inert Gas Oven INH Series

最高使用温度600℃の高温で、窒素(N2)雰囲気による低酸素(O2)濃度20ppmを達成。
セラミック部品の脱脂(※)、各種無酸化処理で多くの実績を持つ生産向けタイプ。
イナートガスオーブン INHシリーズ

最高使用温度
600℃

特長

  • 豊富な実績をもとに無酸化雰囲気処理装置としては最高温度600℃を実現
  • N2パージにより残留酸素濃度20ppm以下を達成
  • 冷却ブロアによる槽外冷却方式併用により、600℃から100℃まで150minで降温(INH-21CD)
  • オイルシールとシリコンシールで高い気密性を保持、さらに水冷機構でシール部を熱から保護
  • ガラス基板、セラミックの脱脂(※)など、生産用として数多くの採用実績
※脱脂処理については別途、安全装置が必要ですのでお問い合わせください。
主な用途 ガラス基板、セラミックの脱脂(※)など  ※別途安全装置が必要ですのでお問い合わせ下さい。
オプション 酸素濃度計 / シグナルタワー / インバータ / 他ガス追加 / 非常停止回路

最高使用温度600℃までの熱処理が可能な生産向けにご使用いただけるイナートガスオーブンです。窒素(N2)雰囲気による残留酸素濃度20ppm以下を達成し、セラミック部品の脱脂用途で多くの納入実績のあるシリーズです。気密性に優れた構造で、脱ガス成分を外部に漏らしませんので、排ガス燃焼装置(GMシリーズ)とセットでのご使用をお勧め致します。冷却ブロアによる炉外冷却機構により、炉内雰囲気影響を与えることなく冷却時間の短縮を図っています。

製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。
各種ガス導入が可能な生産向けタイプ
INHシリーズ共通仕様
方式 強制送風循環式(サイドフロー)
最高使用温度(注1) 600℃
常用使用温度範囲(注1) RT+60〜600℃
温度分布精度(注2) ±8℃(at 600℃)、±5℃(at 350℃)
到達酸素濃度 20ppm以下
棚板耐荷重(等分布荷重) 15kg/枚
槽内圧力計 0〜2kPa
熱電対 K
温度制御 プログラマ
指示精度 ±0.1%FS±1digit
記憶容量 19パターン(30セグメント/1パターン)
調節動作 オートチューニング付PID制御
冷却機構 槽外強制冷却機構
安全装置 漏電ブレーカ、過熱防止計、電動機過負荷保護器、制御回路保護用サーキットプロテクタ
付属品 棚板2枚(棚受付)※INH-100CDは除く、温度記録計
(注1) 加熱室内制御点での値を示す。
(注2) 有効寸法は槽内寸法の2/3です。
☆シールパッキン保護用に冷却水が必要です。
☆熱電対は消耗品です。
残留酸素濃度20ppm以下を達成
型式 INH-9N1 INH-21CD IINH-51CD INH-100CD
最高温度到達時間
(参考値) (注1)
120分以内
(RT+60〜600℃)
90分以内
(RT+60〜600℃)
90分以内
(RT+60〜600℃)
90分以内
(RT+60〜600℃)
20ppm到達時間 50分以内
(N2・50L/min導入)
60分以内
(N2・90L/min導入)
90分以内
(N2・150L/min導入)
90分以内
(N2・250L/min導入)
ヒータ出力 7.5kW(at 200V) 12.0kW(at 200V) 25.2kW(at 200V) 44.1kW(at 200V)
外形寸法(mm) 1105(W)×1650(H)
×840(D)
1255(W)×1800(H)
×1120(D)
1550(W)×1820(H)
×1360(D)
1800(W)×2115(H)
×1570(D)
槽内寸法(mm) 450(W)×450(H)
×450(D)
600(W)×600(H)
×600(D)
800(W)×800(H)
×800(D)
1000(W)×1000(H)
×1000(D)
排気口径 1B・ボールバルブ止め 1 ½B・ボールバルブ止め
ブレーカー容量 AC200V 30A
3相 50/60Hz
AC200V 50A
3相 50/60Hz
AC200V 100A
3相 50/60Hz
AC200V 150A
3相 50/60Hz
価格 2,500,000円 3,300,000円
当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。
デモンストレーションのお問い合わせ・お申し込み

※当社ご用意のデモ機は上記標準製品と仕様が異なる場合があります。
 デモ機の仕様についてはお問い合わせください。



価格について
  • 有効期限: 掲載の価格は、現行のものです。
    価格はできる限り維持するよう努めますが、原材料や諸物価の値上がり、
    また、製品改良などにより、やむを得ず変更することがありますので、
    あらかじめご了承ください。
  • 価格の範囲: 本価格には梱包、運送、納入後の試運転などの費用は含んでおりません。別途申し受けいたします。
  • 消費税: 本価格には消費税を含んでおりません。
仕様について
  • 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。
製品に関するお問合せについて
  • 標準品以外の特殊仕様にも対応しておりますのでこちらまでお問合せください。