製品情報

真空ベーク炉
Vacuum Bake Furnace

真空環境下での加熱処理を目的として開発された箱型電気炉(ボックス炉)。
短タクトタイムでベーク、乾燥、脱脂、硬化、アニールなど多彩な処理が可能。
真空ベーク炉

特長

  • タクトタイムを短縮した高能率タイプ
  • 高精度な3ゾーン個別制御
  • 冷却ブロアを標準装備
  • ステンレスマッフルを装備
主な用途 ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥・ベーク
オプション 真空度に応じたポンプ選択が可能

短時間での真空到達が可能で、さらにマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを導入できるため降温時間も短縮。短タクトタイムで1日あたり数バッチの処理が可能な高能率タイプの箱型電気炉(ボックス炉)です。発塵の少ないステンレスマッフルを採用し、均一な温度分布、高精度な3ゾーンヒータ個別制御で高品位な処理が行えます。ポリイミドのハードベークやプラスチックパッケージの脱脂、ウェハーの乾燥・ベークなどに適しています。

型式 SHB-8810-5VC
最高使用温度(注1) 500℃
常用使用温度範囲(注1) 250〜480℃
温度制御 プログラマ
指示精度 ±0.1%FS±1digit
記憶容量 19パターン (30セグメント/1パターン)
調節動作 オートチューニング付PID制御
ヒータ出力 5.0kW(at 200V)
熱電対 K
外形寸法(mm) 1000(W)×1570(H)×1300(D)
マッフル内有効寸法(mm) 200(W)×200(H)×250(D)
耐荷重 [等分布荷重] 20kg
ブレーカー容量 AC200V 40A 3相 50/60Hz
過熱防止計 標準装備
電動機過負荷保護器 標準装備
冷却水断水検知器 標準装備
ガス圧力低下検知器 標準装備
(注1) マッフル内制御点での値を示す。