製品情報
HOME > 製品情報 > 先端技術製造装置 > クリーンバッチシステム CBSシリーズ

クリーンバッチシステム CBSシリーズ
Clean Batch System CBS series

LTPS(低温ポリシリコン)処理に最適なバッチ式クリーンオーブン。
スペックとコストを両立したスタンダードモデル。雰囲気処理も可能。
クリーンバッチシステム CBSシリーズ

特長

  • 雰囲気処理が可能
    独自のシール構造により、不活性ガスを導入し、無酸化処理が可能です。
  • 最高使用温度500℃
    超高温HEPAフィルターを採用し、最高使用温度500℃を達成しました。
  • ハイスループット
    オーブン強制冷却機構、基板移載の高速化により、サイクルタイムを短縮することが出来ます。

最高使用温度500℃までのLTPS(低温ポリシリコン)処理に最適なバッチ式クリーン加熱オーブンです。20年以上にわたるロングセラーの理由は確実な処理が行えるスペックとコスト性能の両立にあります。バッチ式でありながら強制冷却機構により高スループットを実現しています。

基板サイズ(mm) 300(W)×400(L)〜730(W)×920(L)
使用温度範囲 80〜500℃
温度精度 ±5℃
クリーン度 Class 10 (0.3μm)
用途 LTPS、TFTの各種アニール