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枚葉式クリーンオーブンCCBSシリーズ
Clean Oven, Single Substrate Transfer Type CCBS series

液晶(LCD)、有機EL(OLED)、クリーン加熱オーブンのベストセラー!
基板へのゼロダメージ化、カラーフィルターレジストポストベーク時の昇華物対応。
枚葉式クリーンオーブンCCBSシリーズ
 

特長

  • 高い生産性
    オーブン内ラックピッチを狭小化し、処理用途別にラック構造を専用設計(特許取得済)。収納効率が高くスペース効率、エネルギー効率に優れております。また、生産量に応じて使用するオーブン数を制限するなどフレキシブルな対応が可能です。
  • ハイクリーン&基板ダメージのゼロ化
    当社独自のシャッター構造(特許取得済)によりオーブン内での基板の移動がありません。そのため移動に伴う基板のダメージやパーティクルの発生が一切ありません。
  • 高い稼働率
    シンプルな装置構造のため、トラブルによる装置停止の心配が少なく、安心してご使用いただけます。
  • 省エネルギー
    オーブン内負圧制御と高断熱構造により放熱量を低減しました。
    新開発の廃熱回収装置(特許出願中)によりエネルギーの有効利用を図ることが可能です。
  • 様々なレイアウトに対応可能
    枚葉式オーブン、冷却ラックなどの機能ユニットを自由にレイアウトでき、クリーンルームの限られたスペースを有効に活用出来ます。
  • あらゆる基板運用に対応可能
    ベーク後取り抜きや、ベークスルーなどあらゆる基板運用に対応が可能です。自動化ライン構築をサポートいたします。
  • 昇華物に対応済み
    長年にわたる昇華物対策への取り組みにより、独自のノウハウでフォトレジストのポストベークなど昇華物が発生する処理にも問題なくご使用いただけます。

枚葉式クリーンオーブンCCBSシリーズは長年にわたり安定稼働を続ける液晶(LCD)、有機EL(OLED)用クリーン加熱オーブンのベストセラーモデルです。第10世代までのガラスサイズに対応し、高い生産性、ハイクリーン&基板ダメージのゼロ化を実現しています。ポストベーク時の昇華物にも対応しています。

基板サイズ(mm) 300(W)×400(L)〜3000(W)×3200(L)
使用温度範囲 80〜250℃
温度精度 ±3℃
クリーン度 Class 10 (0.3μm)
用途 カラーフィルターレジストのポストベーク、アニール、シール本硬化/仮硬化、
配向膜の焼成