製品情報
HOME > 製品情報 > 先端技術製造装置 > ウォーキングビーム式クリーンオーブン WBシリーズ

ウォーキングビーム式クリーンオーブン WBシリーズ
Walking Beam Type Continuous Clean Oven WB series

発塵の少ないウォーキングビーム方式を採用!
耐熱カセットの一括搬送で高効率化を実現。
クリーンバッチシステム CBSシリーズ

特長

  • ウォーキングビーム方式を採用
    オーブン内搬送にはクリーン性能に優れるウォーキングビーム方式を採用しております。
  • 高い生産効率を実現
    耐熱カセットによるガラス基板の一括搬送を行うことで、高い生産効率を実現しております。

ウォーキングビーム方式の採用で発塵を抑えたクリーンな各種熱処理が行えるオーブンです。
耐熱カセットによるガラス基板の一括搬送を行うことで、高い生産効率を実現しています。

基板サイズ(mm) 300(W)×400(L)〜1500(W)×1850(L)
使用温度範囲 80〜250℃
温度精度 ±3℃
クリーン度 Class 10 (0.3μm)
用途 ガラス基板のアニール処理