工業用熱処理炉から始まった光洋サーモシステムの歴史。しかし、時代は熱処理炉専業メーカにとどまることを許しませんでした。技術革新と産業構造の転換が進むにつれ、熱処理を必要とする対象物、必要な温度範囲やその制御精度、また処理環境などが、日を追って高度化・複雑化しているのです。これら産業技術の動向・ユーザーニーズを先取りするため、光洋サーモシステムは早くから研究開発体制を拡充。太陽電池やパワーエレクトロニクス、二次電池などの新しい分野に向けた装置の開発と共に、それらを支える新しい熱プロセスの研究や材料分析・ＣＡＥによるヒートプロセスや機構の解析・計測制御技術などの基礎技術の深化・拡張を進め、明日のヒートテクノロジーを切り拓いています。
光洋サーモシステムは熱処理装置のリーディングカンパニーとして、技術革新の尖兵でありつづけなければならないと考えています。そしてこれからも、ヒートテクノロジーの総合メーカとして、一歩先んじた商品をお客様に提供し続けます。
高温仕様（Max.1350℃）
二珪化モリブデンヒータを採用したバッチ式縦型処理装置
コンタミネーションフリー
炉内の金属部分を廃して、高温部への高純度SiC部材を採用。独自の炉口構造により炉外からの汚染を防止。
スリップフリー
最適なウェーハ支持と均一な加熱によりスリップの発生を抑制。
対応プロセス
パワーデバイス向けSiC/Siウェーハの酸化/窒素化・SOIウェーハ向けH2アニール・MEMS向け厚膜酸化など。
多様なラインアップ
実験用途から大量生産まで、200mm対応縦型炉の各シリーズに展開。
マッフル炉
・マッフルの採用で炉内雰囲気の安定性、再現性
にも優れた性能を発揮。
・出入口に設けられた新設計のパージ構造及び炉
内容積を小さくすることにより省ガス化を達成。
マルチ給排気炉
・焼成雰囲気に左右されやすいMLCCなどの処理
に最適。
・脱バイゾーンを複数に分割し、それぞれに給気、
排気を取り付け、各部の雰囲気制御が可能。
マッフルレス炉
・放散熱（出入口からの放散、ヒータからの放散な
ど）を抑えることにより、省エネ化。
・ 炉内にセラミックボードを配置することにより均
熱性の向上及び製品上の異物混入を防止。
