技術情報

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Technical Information

2019/04/01
環境に配慮した縦型炉の取り組み

環境に配慮した縦型炉の取り組み

【環境に配慮した取り組み】
光洋サーモシステムは、ジェイテクトグループの一員として、持続可能な社会の実現を目指し、行動計画を策定し、継続的な活動に取り組んでいます。
その活動には様々な取り組みがありますが、その一例として「環境に配慮した縦型炉の取り組み」を紹介します。

【装置使用部材の環境負荷低減】
半導体製造装置である縦型炉は、主に鉄鋼、ステンレス、アルミ等の金属材料を使って、装置の基本構造を構成していますが、機構部品においてはアルミ加工品を使用することが、一般的になっています。
アルミニウムはボーキサイトからアルミナを抽出し、電解工程を経てアルミの新地金が製造されますが、この電解工程で、「電気の缶詰」と言われるほど莫大な電気エネルギーを必要とし、鉄などの金属と比べると、10倍以上もの製造時エネルギーが必要とされています。
社会・経済・産業の変化により、環境負荷影響も変化します。その時代に合った最適な使用部材を選定することが環境に配慮したモノづくりと考え、縦型炉に使用するアルミ材料の低減に取り組みました。

【実施内容:ターンテーブルの構成材料変更】
量産型フレキシブル縦型炉 VF-5100には、ウェハカセットをストックするためのターンテーブルを装備しています。ターンテーブルの形状及び材質見直し等の徹底的な最適化を実施、精度及び剛性を確保した状態でアルミ部材使用量の削減を実現しました。
・アルミ材料より製造時エネルギーの少ない代替材料の採用
・全体バランスを図ったアルミ材料とステンレス材料の使い分け構造の採用
・ステンレス鋼板の精密板金加工の採用

【得られた効果】
・代替材料の採用でアルミ材料の使用量低減 △17kg/台(68%減)
・ターンテーブル主要素材の軽量化 △3.1kg/台(12%減)
・製造時エネルギーの低減によるCO2排出量削減 △0.9t/台※
※CO2排出係数:0.000512(t-CO2/kWh)環境省2018年度の温室ガス排出量算定代替値
・ターンテーブルの軽量化による駆動エネルギーの低減 △12%

【対象装置】
量産型フレキシブル縦型炉 VF-5100

商品に関するお問い合わせは、こちらまでお問合せください。


  • ターンテーブルの材料構成

  • 対策前後の使用重量比較

  • VF-5100外観

  • 対策後のターンテーブル

2018/11/01
断熱設計の最適化による縦型炉の省エネ

断熱設計の最適化による縦型炉の省エネ

【課題】
当社製LGOヒータ(モルダサーム)を搭載した縦型炉は、低温(200℃)から高温(1150℃)まで、幅広く高品質な熱処理が可能です。省エネの取り組みとして、これまでは高温〜中温域(600〜1100℃)の処理炉を重点的に実施してきましたが、高温〜中温域の処理炉を低温域専用の生産ラインとして使用する場合、断熱材を加熱するための電力量が必要以上に多くなってしまうという課題がありました。

【対策】
低温域専用のLGOヒータを開発。
断熱材の熱容量と放散熱量バランスを使用する温度域で最適化。
ヒータの試作と検証テストを実施。

【得られた効果】
・消費電力低減 :1.1kWh/run※
・CO2排出量削減 :1.0ton/年※
※効果例の条件
機種:VF-3000
処理条件:ポリイミドキュア処理事例
処理ウェハ:φ6"×75枚
年間Running数:6run/day×300days/年
CO2排出係数:0.000512(t-CO2/kWh)
(環境省2018年度の温室ガス排出量算定代替値)

【適用プロセス例】
・ポリイミドキュア

【関連製品】
VF-1000
VF-3000
VF-5100

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  • 縦型炉

  • 消費電力比較グラフ