技術情報

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2018/11/01
断熱設計の最適化による縦型炉の省エネ

断熱設計の最適化による縦型炉の省エネ

【課題】
当社製LGOヒータ(モルダサーム)を搭載した縦型炉は、低温(200℃)から高温(1150℃)まで、幅広く高品質な熱処理が可能です。省エネの取り組みとして、これまでは高温〜中温域(600〜1100℃)の処理炉を重点的に実施してきましたが、高温〜中温域の処理炉を低温域専用の生産ラインとして使用する場合、断熱材を加熱するための電力量が必要以上に多くなってしまうという課題がありました。

【対策】
低温域専用のLGOヒータを開発。
断熱材の熱容量と放散熱量バランスを使用する温度域で最適化。
ヒータの試作と検証テストを実施。

【得られた効果】
・消費電力低減 :1.1kWh/run※
・CO2排出量削減 :1.0ton/年※
※効果例の条件
機種:VF-3000
処理条件:ポリイミドキュア処理事例
処理ウェハ:φ6"×75枚
年間Running数:6run/day×300days/年
CO2排出係数:0.000512(t-CO2/kWh)
(環境省2018年度の温室ガス排出量算定代替値)

【適用プロセス例】
・ポリイミドキュア

【関連製品】
VF-1000
VF-3000
VF-5100

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  • 縦型炉

  • 消費電力比較グラフ


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